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    1200度單溫區CVD系統

    描述:CVD系統由供氣系統+管式爐+抽氣系統 ,最高溫度可以達到1200度、1400度、1600度、1700度,加熱區間可以是單溫區、雙溫區、三溫區等,極限真空可以達到10-3Pa,供氣系統是流量調節可以是質子流量計或浮子流量計,混氣路數可以是2路、3路、4路、5路相混合。

    更新時間:2022-05-26
    產品型號:
    廠商性質:生產廠家
    詳情介紹
    品牌馬弗爐升溫速度(達到最高溫)60min
    內部尺寸60*1000mm加熱方式電阻絲加熱
    最大功率4KWW控溫精度1℃
    最高溫度1200℃價格區間5萬-10萬
    儀器種類管式爐產地類別國產
    應用領域化工,石油,能源,制藥,綜合

    簡介:

    這款CVD系統是由3路供氣系統+1200度單溫區管式爐+真空系統組成


    技術參數


    設備型號MFLCVD406-12
    性能控溫范圍室溫-1200℃
    工作溫度≤1100℃
    控溫精度<1000   ±0.1℃ ; ≥1000±1℃
    恒溫波動±1℃(測試點為1000℃)
    溫度均衡±3℃(測試點為1000℃)
    升溫速度推薦1000度以下≤10℃/min,最快升溫速度≤30℃/min
    降溫速度700℃以上≤10℃/min
    爐表溫度爐體表面溫度小于室溫+10(測量點為1000℃)
    構成外裝冷軋鋼板,表面耐藥性涂裝
    爐體陶瓷纖維
    傳感器1200度K型熱電偶
    加熱元件HDR優質電阻合金絲
    冷卻風葉軸流風扇
    爐體結構雙層殼體結構,配有風冷系統
    控制器控制方式PID控制
    設定表示數字設定/數字顯示
    超溫保護控制器一體型
    超溫設定數字設定
    運行功能定制運行/程序運行(30段程序控溫)
    附加功能偏差修正、停電補償、鎖鍵功能
    定時器1分-99小時59分以及999小時50分數字設定、自動運行、快速自動停止
    真空系統真空度1.選配機械泵可達真空   10的-2次pa                                            2.選配我司高真空系統(機械泵+分子泵組合),可達1.33*10的-4次方pa(空爐狀態)
    隔熱管堵 2只,氧化鋁材料
    爐管石英管
    真空法欄不銹鋼真空法蘭
    壓力表-0.1至0.15mpa
    供氣系統質子流質計量程和氣體:5-500SCCM、1-10SLM  (你可以任意選擇以上量程和所通氣體的類型)                                                                流量控制精度  ±1.0%F.S
    路數   1 、2、3、4、5、6、7、8 路(可任意選擇幾路)
    接頭類型 雙卡套不銹鋼接頭
    壓力真空表表-0.1~0.15MPa    0.01MPa/格
    安全工作環境RT±5-40℃
    使用保障開門斷電   超溫報警 漏電保護 過溫保護
    規格爐體結構臥式
    爐管尺寸Φ60mm
    電源電壓220V50HZ
    輸入功率4KW
    出廠清單管式爐一臺
    供氣系統一套
    高溫手套卡斯頓一雙
    爐勾一把
    氣管一根
    設備說明書一份
    儀表說明書一份
    保修卡一份
    選購品移動爐架不銹鋼
    觸摸屏儀表485轉換接口50段編程,可實現與計算機連接。通過專用的計算機控制系統來完成與單臺或多臺電爐的遠程控制、實時追蹤、歷史記錄、輸出報表等功能。



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